Reduced thermal processing for ULSI
- Författare
- (Edited by Roland A. Levy)
- Genre
- Konferenspublikation, Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Plenum Press | cop. 1989 | USA, New York | xi, 438 sidor. : ill. | 0-306-43382-6 |